Технология структурированного освещения, при которой объект подсвечивается системой полос, создаваемых дифракционным оптическим элементом, который сканирует плоскость предмета с разной ориентации этой системы полос. Происходит модуляция информации о показателе преломления и высоте объекта, причем в разных направлениях. После программной постобработки система полос вычитается, и остается именно информация о топологии объекта. Точность такой технологии порядка 100 нм (в 2 раза лучше, чем обычный микроскоп).
Основной проблемой является применимость данной технологии для непрозрачных отражающих объектов. Необходимо решить вопрос при отражении от поверхностей, наклоненных под критическим углом. В зависимости от числовой апертуры объектива, этот угол варьируется, и достигает порядка 72-75°. Отраженные от таких поверхностей лучи могут просто не попасть в объектив, и необходима будет программная интерполяция. 
Данная технология находится в настоящий момент в разработке.