Система использует принцип одновременного поперечного травления с трех направлений для подготовки поверхности для исследований  с помощью сканирующего электронного микроскопа и атомно-силового микроскопа, а также проведения EDS (энергодисперсионный элементный анализ), WDS (волнодисперсный элементный анализ), Auger (анализ оже-электронов) и EBSD (дифракция обратно рассеянных электронов) анализа.
Держатель образцов позволяет обрабатывать образцы с размерами до 50х50х10мм. Для работы на системе требуется минимальная предварительная механическая подготовка образца. К функциональным особенностям прибора можно отнести 3 аргоновых ионных пушки, столик, перемещающийся в трех направлениях и встроенный стереомикроскоп.