Уникальные Микроскопы Leica DM 8000, Leica DM 12000 для исследований деталей с помощью ультрафиолетового и инфракрасного света. Наклонное освещение в сочетании с ультрафиолетовым источником света и специализированным объективом 150х позволяют добиться увеличения разрешающей способности микроскопа вплоть до 140 нм (Большинство современных оптических систем ограничены 230-300 нм – Дифракционный предел разрешения Релея). Поскольку полупроводники прозрачны в диапазоне ближнего ИК, то инфракрасное излучение позволяет исследовать токопроводящие каналы, деффекты подложки – слои, лежащие под слоем полупроводника. Существует специальная конфигурация для исследования относительно габаритных деталей, в которой применена дополнительная вставка 42 мм.
Доступные методы контрастирования:
- Светлое поле в проходящем и отраженном свете
- Темное поле в проходящем и отраженном свете
- Поляризация в проходящем и отраженном свете
- Дифференциально-Интерференционный контраст в проходящем и отраженном свете
- Наклонное освещение в отраженном свете (уникальная технология Leica)
- Интерференционный контраст Миро и Михельсона
Наши сотрудники с радостью расскажут более подробно о технологических возможностях данного класса приборов!